真空等離子清洗機

主要部件

指標名稱

參數指標

清洗倉體

清洗倉材質

高純石英

清洗倉尺寸

直徑100mm;長度270mm

射

頻

電

源

電源特性

該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。

電源優勢

●可長時間正常運行
● 操作簡單靈活

● 電源效率高、發熱少
● 具有*的反射功率保護功能

射頻功率

0~100W連續可調/0~150W連續可調

信號頻率

13.56MHz ±0.005%

反射功率

≤100W

功率穩定度

±0.1%

射頻接頭

N型頭

整機效率

≥75%

諧波分量

≤-50 dBc

冷卻方式

強制風冷

氣

體

測

量

測量部件

浮子流量計

氣體通道

兩通道

A通道量程

10～100ml

B通道量程

16～160ml

真

空

獲

取

真空測量

數字真空計（電阻規）

真空抽取

雙極旋片泵

電機轉速

50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。

抽氣速率

50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。

真空量程

0.1Pa～10000Pa

極限真空

0.5Pa

電機噪音

≤56dB

管道接口

進氣口：KF16;排氣口KF16.

連接管道

KF16真空波紋管

真空閥門

KF16球閥

電機功率

400W

其

它

供電電源

AC220V 50/60Hz

整機功率

550W/600W

使用溫度

-10℃ -- 40℃

工作真空

≤40Pa

整機尺寸

540mmX500mmX440mm

整機重量

58kg（含包裝）