SE500橢偏儀薄膜測量薄膜材料的厚度、NK性能250-1700nm

SE500橢偏儀薄膜測量薄膜材料的厚度、NK性能250-1700nm

產品簡介

橢偏儀是一種利用光的偏振態變化來進行薄膜性質表征的儀器，主要用來測量薄膜材料的厚度、NK參數等性質。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光、可見光以及紅外光）變成偏振光后通過一定角度入射到樣品上，偏振光進入樣品介質后會反射回到橢偏儀檢偏器內，由于樣品介質會對偏振光的偏振態發生改變，而這種改變會被橢偏儀測量，橢偏儀就是利用這個介質對偏振光性質改變的原理來表征介質的性質的
SE500型號采用雙光譜儀耦合實現250-1700nm超長波段的探測，可實現對材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究，同時可搭配自動平臺掃描、自動變角、微光斑探測以及平臺加熱等功能滿足不同應用需求。


產品相冊





設備配置

探測器：陣列探測器,

光源：高功率的DUV-Vis-NIR復合光源

軟件：TFProbe 3.3版本的軟件

入射角度變化：手動調節

測量種類：薄膜厚度、折射率和消光系數以及多層膜堆疊

計算機：Intel雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

電源：110–240V AC/50-60Hz，6A



保質期

保修：一年的整機及零部件保修

技術參數


波長范圍：250nm到1700 nm

光斑尺寸：1mm至5mm可變

樣品尺寸：直徑可達200mm

測量厚度范圍*：〜30μm

測量時間：約1/位置點

入射角范圍：20到90度，5度間隔

重復性誤差*：小于1 Ǻ