型號

SURFCOM 130A

測量范圍

X軸（橫向）

50m

Y軸（縱向）

800mm(測量范圍/分辯率：800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm)

直線度精度

0.3mm/50mm

分析項目

使用規格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規格

參數

Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.

TLLTA.lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc

AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR

評價曲線

剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線（Motif）、波紋度中心曲線（Motif）、包絡波紋度曲線

表面特性圖表

負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線

傾斜補償方式

直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵補償、（直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內）

倍率

縱倍率（Z軸）

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動

橫倍（X軸）

1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動

濾波器的種類

標準型濾波器2RC、相位補償型濾波器2RC、相位補償型濾波器（高斯濾波器）

測量速度

0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速)

傳感器

前端半徑2mm、材質為金剛石、測量力為0.75mN

**的功能

測量AI

裝載有測量AI功能、即使初學者也可容易掌握

段差分析功能

適于測量半導體零部件的膜厚及面積

PC卡

輸出文本文件、將數據傳送*電腦

標準配件

標準片E-MC-S24B、記錄紙（E-CH-S21A）、觸摸筆（E-MA-S54A）操作說明書

各要素

電源

AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA

設置尺寸

700（W）*300（D）*150（H）mm

質量

8Kg