半導(dǎo)體制造廠氣溶膠粒子計(jì)數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)

類別

序號

產(chǎn)品名稱

參數(shù)規(guī)格

主機(jī)

1

數(shù)據(jù)采集儀

l 性能參數(shù)：NXP i.MX6UL處理器，Cortex®-A7內(nèi)核，主頻528MHz，內(nèi)置linux操作系統(tǒng)；

l 多通道數(shù)據(jù)采集接口，3路232和3路485接口，支持MODBUS協(xié)議，超標(biāo)報警推送、超標(biāo)告警查詢、全天候24實(shí)時在線監(jiān)測，可集成多種傳感器探頭；

l 支持遠(yuǎn)程登錄、自動重啟遠(yuǎn)程升級、遠(yuǎn)程更新設(shè)備軟件；

l 控制功能：能通過上位機(jī)控制檢測儀表設(shè)置數(shù)據(jù)采集頻率、系數(shù)校準(zhǔn)、時間同步、報警參數(shù)設(shè)置等功能；

l 支持插入U盤自動升級軟件程序功能；

l 具備以太網(wǎng)接口，直接通過局域網(wǎng)或internet與上位機(jī)通訊；

l 具備數(shù)據(jù)超標(biāo)聯(lián)動報警功能，可聯(lián)動報警燈、攝像頭抓拍等；

l 數(shù)據(jù)存儲：內(nèi)置大容量SD卡，可存儲一年以上的原始監(jiān)測數(shù)據(jù)，并可通過有線或者無線方式顯示到LED屏幕上或者云平臺軟件；

l 設(shè)備數(shù)據(jù)傳輸符合國家通信標(biāo)準(zhǔn)HJ212-2017傳輸協(xié)議；

l 具備GPS定位功能，實(shí)時定位設(shè)備所處地理位置；

l 斷網(wǎng)續(xù)傳功能：在設(shè)備離線的情況下，正常監(jiān)測數(shù)據(jù)，設(shè)備恢復(fù)網(wǎng)絡(luò)后遠(yuǎn)程補(bǔ)傳；

l 可擴(kuò)展性：可擴(kuò)展添加噪聲，顆粒物，含氧量檢測指標(biāo)等參數(shù)。

監(jiān)測參數(shù)

2

粒子計(jì)數(shù)傳感器

l 測量輸出：0.3~10μm 共 6 通道粒子數(shù)

l 量程：4,000,000 個 /ft3

l 計(jì)數(shù)效率：0.3μm/50% >0.45μm/100%（@25℃,50%RH）

l 相對誤差：±15%（@25℃,50%RH）

l 工作溫度范圍：-20-60℃

l 溫度范圍：0-99%RH

l 工作大氣壓力：86KPa~110KPa

3

風(fēng)速傳感器（選配）

l 測量范圍：0-1m/s ；1-20 m/s

l 測量精度：±0.1 m/s

l 工作范圍：溫度：0-50℃，濕度：＜85%RH

l 響應(yīng)時間：＜3秒

4

壓力傳感器（選配）

l 測量范圍：默認(rèn)-120Pa~120Pa

l 壓差精度:±(3%讀數(shù)±0.08Pa)@25℃

l 壓差分辨率：0.1Pa

l 長期穩(wěn)定性:≤0.05Pa/y

l 響應(yīng)時間:1S

5

溫濕度傳感器（選配）

l 測量范圍：溫度：-40-120℃濕度：0-100%RH

l 測量精度：溫度：±0.5℃濕度：±3%RH

l 分辨率：溫度：0.1℃；濕度：0.1%RH

監(jiān)控

云平臺

6

云平臺功能

l 查詢：此功能主要用于多臺設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)對比查詢；

l 歷史查詢：歷史查詢主要用于查詢設(shè)備某天或某小時的數(shù)據(jù)曲線查詢及報表下載；

l 曲線分析：曲線分析是用于分析一個時間段內(nèi)的要素變化，可以在曲線上進(jìn)行拖動；

l 站點(diǎn)管理：這個功能是用于添加或更改站點(diǎn)

l 電子地圖：在線狀態(tài)，故障狀態(tài)

l 實(shí)時數(shù)據(jù)：實(shí)時數(shù)據(jù)查詢，小時平均值，日平均值數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，最大值最小值統(tǒng)計(jì)