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半導體膜厚測試儀

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公司名稱山東霍爾德電子科技有限公司
品牌霍爾德?電子
型號HD-FT50UV
所在地濰坊市
廠商性質生產廠家
更新時間2026/3/10 15:28:51
訪問次數207

產品標簽:

反射膜厚儀反射膜厚測量儀光學膜厚儀非接觸式膜厚測量儀半導體膜厚測試儀

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山東霍爾德電子科技有限公司成立于 2020 年 3 月，坐落于山東省濰坊市高新區，是一家專注于智能檢測儀器與實驗室分析設備研發、生產、銷售及技術服務的高新技術企業、專精特新中小企業。公司聚焦水質檢測、農業檢測、食品快檢、光譜分析、物理性能測試等核心領域，專注檢測儀器的自主研發創新與產業化落地，為各行業客戶提供一體化檢測與智能化配套解決方案。

公司深耕科學檢測儀器領域，產品覆蓋水質、農業、食品、光譜分析、物理性能測試等多個應用場景，嚴格遵照國家及行業標準研發生產，配套齊全的檢測報告，可廣泛應用于農業、環保、食藥、科研、水利、林業等眾多行業。設備運行狀態穩定，檢測數據重復性佳，符合行業標準誤差規范，收獲了市場及眾多合作客戶的認可與好評。

技術研發方面，公司現有團隊規模近百人，研發人員占比接近 40%。核心技術團隊深耕光譜分析、精密儀器制造行業多年，積淀了扎實的技術功底與豐富的項目實操經驗。企業長期與國內多所高校、科研院所搭建產學研合作體系，持續推進核心技術攻關與科研成果落地轉化。截至目前，公司已累計取得有效30 余項證書，包含發明證書5 項、實用新型證書15 項、外觀設計證書15 項，自主研發實力雄厚。

品質管控方面，公司全面落地并有效運行 ISO9001 質量管理體系、ISO14001 環境管理體系、ISO45001 職業健康安全管理體系，同時具備排污登記、跨境電子商務等正規資質。企業采用全流程數字化生產模式，執行標準化質量管控體系，從產品研發、生產加工到出廠質檢，全流程嚴格把控品質，有效保障設備運行穩定性、數據可靠性與長期使用耐久性。

未來，公司將持續踐行創新驅動發展戰略，深耕檢測儀器核心領域的技術迭代與成果轉化，朝著設備智能化、標準化、國產化方向穩步發展，助力區域科技產業升級，為生態環境治理、食品安全保障、現代農業發展等領域的高質量發展，提供專業、穩定的設備與技術支撐。

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水質檢測儀,測油儀,生物毒性檢測儀,在線水質檢測儀,toc分析儀,氨氮測定儀,光度計,露點儀,流量計,密封儀

產品簡介在線詢價

測量范圍	190-1100nm	產地	國產
電源電壓	220V±20V50HzAC/V	類型	薄膜
外形尺寸	Φ6.35*3200mm3mm

半導體膜厚測試儀是一款精準又好用的薄膜厚度測量設備。它能測低至20納米的超薄薄膜，測量誤差小于1納米，最快每秒可測100次，重復測量精度高達0.05納米。具有強抗干擾性，高靈敏度元器件搭配抗干擾光學系統+多參數反演算法，復雜環境下測量穩定，靈活易適配，支持自定義膜結構測量，設備小巧易安裝，配套軟件及二次開發包，適配實驗室/產線多場景。

半導體膜厚測試儀產品信息

從晶圓廠的無塵車間到新能源實驗室的振動臺，從生物醫藥的潔凈室到汽車涂裝生產線，薄膜厚度檢測正經歷從"經驗判斷"到"數據驅動"的范式革命。某品牌反射膜厚儀憑借三大核心優勢成為跨行業首-選：其20nm超薄檢測能力滿足5G芯片封裝需求，100Hz采樣速率適配鋰電池隔膜高速卷繞，智能反演算法可自動識別12類常見干擾因素。

一、產品簡介

半導體膜厚測試儀是一款精準又好用的薄膜厚度測量設備。它能測低至20納米的超薄薄膜，測量誤差小于1納米，每秒可測100次，重復測量精度高達0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強，在振動或復雜環境下也能穩定工作。

二、應用領域

廣泛應用于半導體與微電子制造、顯示面板、光學器件制造、生物醫學、汽車及新材料與新能源研發等領域，能滿足從晶圓鍍膜、顯示面板薄膜到光學元件鍍膜植入物涂層、汽車玻璃膜層及新能源薄膜的高精度厚度檢測需求，助力各行業提升產品質量與研發效率。

三、測試原理

半導體膜厚測試儀基于白光干涉原理工作，光源發出的寬帶光入射至待測薄膜表面后，經薄膜上下表面反射形成的兩束反射光會因光程差產生干涉，干涉信號中包含薄膜厚度、光學常數等關鍵信息，設備通過探頭采集干涉后的反射光譜，對特定波段范圍內的光譜進行模型擬合后，即可反演解析出薄膜的厚度、光學常數及粗糙度等參數，整個系統由高強度組合光源提供寬光譜入射光，經光學系統傳輸至樣品，反射光返回后由高速光譜模塊采集信號，最終通過上位機軟件完成數據處理與結果輸出。
四、產品特點

1. 精準測量：支持20nm超薄膜厚檢測，準確度±1nm、重復精度0.05nm，滿足精密檢測需求；

2. 高速采樣：采樣速度100Hz，適配產線快速檢測，提升測量效率；

3. 寬光譜覆蓋：采用氘鹵組合光源，光譜覆蓋紫外至近紅外，可解析單層/多層膜厚；

4. 強抗干擾性：高靈敏度元器件搭配抗干擾光學系統+多參數反演算法，復雜環境下測量穩定；

5. 靈活易適配：支持自定義膜結構測量，設備小巧易安裝，配套軟件及二次開發包，適配實驗室/產線多場景。

五、技術參數

型號	HD-FT50UV	HD-FT50NIR
建議工作距離	非聚焦光束，安裝距離5至10mm	安裝側面出光附加鏡時：34.5mm±2mm；軸向出光時：55mm±2mm；
測量角度	±10°	±5°
光斑類型	彌散光斑；在10mm安裝距離時，光斑直徑約為4mm；	聚焦光斑；約200μm
探頭外徑*長度	Φ6.35*3200mm3	Φ20*73mm
探頭重量	190g	108g（探頭）、49g（附加鏡）
光源類型	氘鹵光源	鹵素光源
波長范圍	190-1100nm	400-1100nm；1000-1700nm
測厚范圍	約20nm~50μm（折射率1.5時）	約50nm~50μm（折射率1.5時）
適配探頭	UV-VIS	VIS-NIR軸向； VIS-NIR徑向；（標配其一）
可連探頭數量	1
探頭防護等級	IP40
重復精度	0.05nm
準確度	<±1nm或±0.3%（取較大值）
采樣頻率	Max.100Hz（視求解參數復雜度而定）
測控軟件	專用上位機軟件
電源電壓	220V±20V50HzAC/
功率	50W
工作溫度	-10至+40℃
相對濕度	20%至85%RH（無冷凝）
控制器重量	約5000g