半導體深能級瞬態譜分析系統

一、Ceramic Forum HERA FT1230 DLTS 半導體深能級瞬態譜分析系統 產品基礎信息

二、核心規格參數

三、產品核心特點

1.定量解析缺陷電學屬性，彌補形貌檢測的短板

光學位錯儀只能觀察晶格外觀缺陷，本設備可測得缺陷對載流子的捕獲能力，量化缺陷對器件漏電、壽命的影響，精準定位制程問題。

2.一體化集成，降低搭建測試系統成本

溫控、供電、信號采集、分析軟件成套交付，無需自行搭配零散儀器，可快速投入測試使用。

3.適配第三代寬禁帶半導體研發

硬件針對SiC、GaN優化，滿足新能源功率半導體、射頻芯片前沿研發的檢測需求。

4.豐富拓展測試模式

可拓展熱激電流、光激發DLTS等測試項目，單臺設備覆蓋多元科研、工藝驗證場景。

四、Ceramic Forum HERA FT1230 DLTS 半導體深能級瞬態譜分析系統 適用行業場景

• 功率半導體：SiC、GaN器件缺陷檢測，優化離子注入、退火工藝；

• 光電器件：LED、激光管外延層非輻射復合缺陷表征；

• 高校科研：半導體缺陷機理相關課題實驗。